Крупногабаритные камеры (более 1000 л):
Применяются для:
- Термовакуумных испытаний.
- Оборудования установок термоядерного синтеза.
- Нанесения покрытий на крупногабаритные изделия.
- Проведения процессов азотирования.
- Вакуумной сушки.
Характеристики:
- Рабочий вакуум: 10⁻³–10⁻⁶ торр.
- Конструктивные формы: цилиндрические, прямоугольные, кубические.
- Типичная ориентация: горизонтальная.
- Оптимизация веса при сохранении прочности достигается за счет использования ребер жесткости и элементов компьютерного моделирования.
- Высококачественные сварные соединения, выполненные ручным или автоматизированным способом.
- Внутренняя обработка поверхности: шлифовка и электрохимическая полировка.
Камеры среднего размера (100–1000 л):
Используются для:
- Проведения исследовательских экспериментов.
- Моделирования космических условий.
- Осаждения, травления, процессов МЛЭ.
- Синтеза высокочистых материалов.
- Вакуумных печей, установок азотирования.
Особенности:
- Диапазон вакуума: от низкого до сверхвысокого (до 10⁻¹¹ торр).
- Геометрические исполнения: сферические, прямоугольные, вытянутые, колпакообразные.
- Возможность интеграции дополнительного оборудования: системы водяного охлаждения, криопанели, нагревательные элементы, окна.
- Ключевые критерии проектирования: удобство загрузки образцов и простота очистки.
Малогабаритные камеры (1–100 л):
Находят применение в:
- Лабораторных исследованиях.
- Отработке технологических процессов.
- Очистке поверхностей образцов.
- В качестве учебного оборудования.
Спецификация:
- Диапазон вакуума: от 100 до 10⁻¹¹ торр.
- Минимальная толщина стенок и фланцев для снижения массы.
- Герметичные внутренние швы для минимизации «воздушных ловушек».
- Компактные, малошумные насосы, подключаемые к стандартной электросети.
- Возможность применения в качестве шлюзовых устройств.