Компактная вакуумная карусель с 16 сателлитами - для равномерного напыления, травления и термообработки мелких изделий
✔ Назначение
Компактная вакуумная карусель с 16 сателлитами обеспечивает равномерную обработку небольших изделий или образцов внутри вакуумной камеры при проведении различных технологических операций при нанесении тонкопленочных покрытий, очистке поверхности, травлении и термической обработке при температуре изделий до 600 °C (карусели до 250 °C).
Данная система находит широкое применение в научно-исследовательских и производственных задачах, требующих высокой степени однородности обработки. Конструкция карусели позволяет оптимизировать использование вакуумного пространства, минимизируя расход материалов и энергии. Равномерное вращение сателлитов обеспечивает идентичное воздействие технологических параметров на каждое изделие, что критически важно для получения воспроизводимых результатов.
✔ Описание
Компактная карусель может устанавливаться на вал вакуумного ввода вращения или на вал с регулируемым наклоном внутри вакуумной камеры, с передачей вращения гибким валом или дополнительными шестернями.
На карусели закрепляется оснастка с 16 шт. изделий диаметром до 11 мм. Рассчитана на длительную работу в условиях высокого вакуума и повышенных температур механических узлов до 250 °С. Конструкция карусели обеспечивает вращение каждого сателлита вокруг своей оси и сателлитов вокруг центральной оси (Опционально). Это позволяет обеспечить равномерную обработку образцов со всех сторон и/или последовательное выполнение операций.
✔ Особенности
Диаметр расположения осей – 66 мм. Компактная карусель является съемным изделием и может устанавливаться в имеющиеся установки. Эффективность и надежность вакуумной карусели с 16 сателлитами обеспечивается качеством используемых компонентов и точности изготовления. Такие системы находят широкое применение в микроэлектронике, оптоэлектронике, изготовлении катодов и других областях, где требуется высокоточная обработка материалов в условиях вакуума и при повышенных температурах.