Термический испаритель – лодочка

Назначение

Ленточные испарители лодочного типа предназначены для нанесения покрытий в вакууме резистивным методом испарения порошковых или гранулированных материалов и неорганических соединений.

Описание

Принцип  работы основан на нагреве материала-мишени, размещенного в лодочке, до температуры испарения. Нагрев происходит за счет протекания электрического тока через резистивный элемент, которым и является лодочка. Испаряемый материал переходит в газовую фазу и осаждается на подложку, расположенную в вакуумной камере, формируя тонкий слой.

Конструкция лодочных испарителей обеспечивает эффективный нагрев и равномерное испарение материала. Различные формы лодочек позволяют оптимизировать процесс испарения для конкретных материалов и задач. Эти испарители широко применяются в различных отраслях, включая микроэлектронику, оптику и материаловедение, для создания функциональных покрытий с заданными свойствами. Вакуумная среда необходима для предотвращения окисления испаряемого материала и обеспечения высокой чистоты получаемых пленок.

Преимущество

техническая простота, удобство контроля и регулирования режимов работы испарителя и возможность получения покрытий различного химического состава.

Особенности

Испаритель крепится на электрических вводах специально-разработанными кронштейнами, позволяющими менять расположение и угол лодочки для получения необходимого распределения. Крепление испарителя позволяет быстро без специальных приспособлений заменить лодочку.