Настольная установка магнетронного напыления - EPOS-PVD-DESK-STD

✔ Назначение

Идеально подходит для отработки технологий нанесения покрытий и проведения научных исследований в различных областях, таких как материаловедение, приборостроение, электроника, нанесение оптических покрытий и микромеханические устройства. Функциональная, надёжная и готовая к работе «из коробки» — она сочетает удобство, безопасность и простоту в эксплуатации

✔ Описание

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления позволяет напылять металлы, диэлектрики и полупроводники на подложки диаметром до 100 мм. Она может быть оснащена одним, двумя или тремя магнетронами. Мощный источник питания обеспечивает стабильность работы системы и позволяет получать воспроизводимые и качественные покрытия.

Особенностью конструкции является технология косвенного контакта охлаждения с мишенью, которая исключает риск попадания воды при замене мишени и отсутствие уплотнения вода-вакуум, что повышает надежность и безопасность эксплуатации установки.

✔ Преимущества

Вакуумная камера, выполнена из нержавеющей стали, оптимизирована для процесса напыления сверху вниз в малом объёме.  Широкий выбор магнетронов диаметром 1"(25,4 мм), 2"(50,8 мм) и 3" (76,2 мм) в DC и RF исполнении. Дополнительные опции позволяют сконфигурировать систему непосредственно для Ваших нужд.

✔  Особенности

• Возможность нанесения Ag, Au и С для подготовки SEM образцов;

• Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;

• Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий;

• Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;

• Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;

• Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.