CVD ловушка паров прекурсоров

✔ Описание

Вакуумная CVD ловушка сорбционного типа с водяным охлаждением.
Улавливает непрореагировавшие пары прекурсоров и радикалы  непосредственно на выходе из CVD реактора. Существенно снижает поток загрязняющих или вредных (в зависимости от реакции)  веществ. Позволяет повторно использовать благородные металлы, снижая затраты на создание пленок. 

Встраивается в вакуумную линию через фланцы KF25. При установке перед форнасосом продлевает его срок службы.

Конструкция выполнена в виде сквозного канала с внутренней плетёной сеткой из нержавеющей стали или меди и оснащена контуром водяного охлаждения. Благодаря этому пары прекурсоров конденсируются уже при комнатной температуре.

✔ Преимущества

• Повторное использование дорогостоящих прекурсоров, содержащих благородные металлы
• Высокая эффективность за счёт установки непосредственно на реактор
• Простая интеграция — стандартные вакуумные фланцы KF25
• Снижение эксплуатационных затрат и минимизация технологических потерь

✔  Особенности

• Сетка из нержавеющей стали или меди для эффективной конденсации
• Контур водяного охлаждения
• Упрощённое обслуживание — быстрое извлечение и очистка сетки
• Оптимизированная геометрия для равномерного газового потока
• Отдельная сборочная единица для удобства монтажа
• Монтируется на реактор — улавливает пары сразу при выходе из горячей зоны
• Геометрия устройства оптимизирована под компоновку типовых MOCVD-установок. Откачка подключена диаметрально противоположно с двух сторон реактора для обеспечения равномерности потока.