Кварцевые микровесы с панелью управления и встроенным дисплеем
✔ Назначение
Кварцевые микровесы EPOS-QCM-2 предназначены для контроля скорости напыления и толщины пленки во время процесса нанесения тонких пленок методами физического осаждения.
✔ Описание
Толщина пленки определяется методом пьезоэлектрического микровзвешивания (QCM). Во время напыления поток напыляемого вещества попадает на кварцевый резонатор (кристалл). Регистрируемая резонансная частота колебаний генератора с кварцевым резонатором в контуре обратно пропорциональна массе/толщине материала, нанесенного на поверхность кристалла.
На дисплее контроллера отображается текущая толщина пленки и скорость напыления в реальном времени, что дает возможность оперативно корректировать параметры процесса и обеспечивать высокую однородность и качество получаемых покрытий. Контроллер с релейными выходами обеспечивает автономное управление заслонками/питание магнетронов при напылении заданной толщины или завершении процесса, упрощая интеграцию в производственные линии.
✔ Преимущество
Точность до монослоя
Кварцевые микровесы фиксируют изменения массы на уровне единиц ангстрем, что позволяет контролировать рост плёнки с разрешением до одного монослоя — критически важное преимущество в прецизионных вакуумных процессах.
Управление в реальном времени
Быстрые и точные измерения позволяют стабилизировать скорость напыления, регулировать структуру пленки — при подключении опционального управляющего программного обеспечения. Например, скорость напыления при целевом значении 1 Å/с стабилизируется с точностью ±0,02 Å/с .
Гибкая конфигурация под ваш процесс
Широкий выбор опций — от интерфейсов и типов датчиков до программного обеспечения — позволяет собрать систему, идеально соответствующую вашим технологическим задачам и условиям эксплуатации.
✔ Особенности
Различные варианты исполнения вакуумного ввода (CF, Bolt, KF) позволяют смонтировать кварцевые микровесы QCM (QCN) в системах сверхвысокого вакуума. При использовании линейного транслятора (Опция) возможно контролировать однородность потока напыляемого материала в рабочей зоне. Контроллер с дисплеем и релейными выходами позволяет управлять процессами напыления без использования ПК. Программное обеспечение для ПК под управлением Windows позволяет осуществлять автоматическую регистрацию данных и управление процессами. Возможна интеграция оборудования в существующие системы управления по протоколу Modbus с использованием последовательных RS-232/485 или Ethernet-интерфейсов. Регистры Modbus (частота сенсора, скорость напыления, толщина, температура, финишная толщина и.т.д) представлены в руководстве по эксплуатации.