Кварцевые микровесы с компьютерной регистрацией

✔  Назначение

Кварцевые микровесы с регистрацией данных через компьютер ЭПОС-QCM-1 предназначены для отслеживания скорости напыления и толщины пленки во время процесса нанесения тонких пленок методами физического осаждения (PVD). 

✔  Описание

Толщина пленки определяется методом пьезоэлектрического микровзвешивания (QCM). Во время напыления поток напыляемого вещества попадает на кварцевый резонатор (кристалл). Регистрируемая резонансная частота колебаний генератора с кварцевым резонатором в контуре обратно пропорциональна массе/толщине материала, нанесенного на поверхность кристалла.

Регистрация данных через USB и вывод графиков на любом имеющемся компьютере или ноутбуке. Простая интеграция в существующие системы управления по промышленному протоколу Modbus через последовательные интерфейсы RS-232/RS-485.

✔  Преимущество

Высокая чувствительность позволяет регистрировать изменения на уровне монослоев (единицы Ангстрем), что критично для технологических процессов. Надежность, техническая простота, удобство эксплуатации. Возможна интеграция оборудования в существующие системы управления по протоколу Modbus с использованием последовательных RS-232/485 интерфейсов или регистрировать через USB на имеющемся компьютере/ноутбуке. Широкий выбор опций позволяют сконфигурировать микровесы непосредственно для Ваших задач.

✔  Особенности

Различные варианты исполнения вакуумного ввода (CF, Bolt, KF) позволяют смонтировать кварцевые микровесы QCM (QCN) в системах сверхвысокого вакуума. При использовании линейного транслятора (Опция) возможно контролировать однородность потока напыляемого материала в рабочей зоне. Регистры Modbus (частота сенсора, скорость напыления, толщина, температура, финишная толщина и.т.д)  представлены в руководстве по эксплуатации.