Источник питания для электронно-лучевого испарителя (ЭЛИ)

✔ Назначение

Источник питания используется в составе PVD-установок для точного управления высоковольтным ускоряющим напряжением и током эмиссии ЭЛИ.

• Модель 5 кВт: подходит для большинства задач: микроэлектроника, оптика, R&D, напыление покрытий толщиной до 1-2 мкм;
• Модель 10 кВт: предназначена только для самых интенсивных производственных процессов, например, промышленного нанесения слоёв алюминия толщиной 5 мкм и более в силовой электронике, где требуется высокая скорость осаждения и стабильность в течение часов.

✔ Описание

Обе модели выполнены в виде моноблоков для установки в стандартный шкаф 19" и оснащены цифровыми дисплеями, потенциометрами и тумблерами на передней панели. Управление - ручное или автоматическое, с возможностью дистанционного контроля по RS485 (Modbus RTU).

Ключевые особенности:

• Резонансные преобразователи: обеспечивают минимальные пульсации (≤ 0,2%) и равномерную нагрузку сети;
• Система дугогашения: реагирует на микродугу за ~1 мкс, предотвращая повреждение катода и тигля;
• Настройка толерантности к микродугам: позволяет адаптировать защиту под материал;
• Блокировка запуска:  по внешним сигналам (например, датчик потока воды);
• Точная стабилизация: шаг регулировки напряжения: 2,5 В, тока эмиссии: 0,25–0,31 мА.

✔ Преимущества

•  Стабильность пучка: благодаря резонансной схеме и низким пульсациям;
•  Защита оборудования:  дугогашение за микросекунду продлевает ресурс ЭЛИ;
•  Гибкость под задачу: выбор между 5 кВт (универсальный) и 10 кВт (максимальная производительность);
•  Интеграция в АСУ: RS485 + Modbus для полной автоматизации;
•  Российское производство: гарантия, сервис, запчасти, поддержка в течение всего срока службы.

✔ Технические параметры