Установка плазмохимического травления EPOS-GLASS-RIE

✔ Назначение

Установка плазмохимического реактивно-ионного травления EPOS-GLASS-RIE подходит для широкого спектра лабораторных и технологических задач в микроэлектронике, оптике и биотехнологиях, где требуется точное и контролируемое сухое анизотропное травление различных материалов.

Основные функциональные возможности установки включают:

• Формирование глубоких каналов в кремнии, стекле по заданной топологии.
• Формирование высокоточных сквозных отверстий;
• Снятие верхнего слоя различных материалов, таких как кремний, диоксид кремния (SiO2), нитрид кремния и др.
• Удаление остатков инкапсулированных материалов на кристаллах интегральных схем после удаления их корпусной части.
• Снятие фоторезиста с поверхности подложек.

✔ Преимущества

• Использование удаленной индуктивной плазмы обеспечивает более контролируемое и чистое травление;
• Регулируемое положение плазмы относительно обрабатываемой пластинки позволяет оптимизировать процесс травления;
• Наличие дополнительного высокочастотного (ВЧ) смещения на травильном столике для улучшения контроля над процессом;
• Распределенный подвод газов через «душ» и система откачки обеспечивают равномерность подачи и поддержание необходимого распределения давления;
• Возможность ограничивать температуру пластины для управления процессом и предотвращения повреждений подложек.
• Высокая однородность плазмы на подложках до 100 мм.
• Возможность работы с мощностью ВЧ плазмы до 800 Вт.

✔  Особенности

Расширенные функциональные возможности обеспечивают обработку широкого спектра материалов и формирование микроструктур, востребованных в передовых областях техники. Данный подход позволяет реализовывать следующие процессы:

• Анизотропное плазменное травление кремния и диэлектрических материалов (включая монооксид кремния, диоксид кремния и другие соединения). Данная технология широко применяется в микроэлектронике для создания глубоких каналов;
• Формирование микрофлюидных устройств для анализа отдельных живых клеток in vitro.  Микрофлюидика, как метод манипулирования жидкостями в микромасштабе, играет важную роль в клеточной биологии и биомедицине.
• Изготовление датчиков потока и оптических преобразователей различного типа. Такие устройства находят применение в различных областях, включая мониторинг окружающей среды и медицинскую диагностику.
• Проектирование и производство микроэлектромеханических систем (МЭМС). МЭМС интегрируют механические и электрические компоненты на микрочипе, что позволяет создавать компактные и высокопроизводительные устройства.
• Производство сложных интегральных схем (СБИС). Данный процесс включает в себя многоэтапное формирование сложной схемы на полупроводниковой подложке, что является основой современной микроэлектроники.