Кварцевый измеритель толщины пленок
✔ Назначение
Датчик/сенсор QCM используется для мониторинга скорости осаждения и итоговой толщины тонких пленок, формируемых посредством методов физического осаждения из паровой фазы (Physical Vapor Deposition, PVD). Данная технология позволяет в режиме реального времени контролировать процесс нанесения, обеспечивая прецизионное управление параметрами пленки.
✔ Описание
Корпус датчика охлаждаемый, с трубками подачи охлаждающей жидкости. Толщина пленки определяется методом пьезоэлектрического микровзвешивания (QCM). Во время напыления поток напыляемого вещества попадает на кварцевый резонатор (кристалл). Регистрируемая резонансная частота колебаний генератора с кварцевым резонатором в контуре обратно пропорциональна массе/толщине материала, нанесенного на поверхность кристалла.
✔ Особенности
- Позволяет регистрировать изменения толщины пленки от единиц Ангстрем до десятков микрометров.
- Различные варианты исполнения вакуумного ввода (CF, Bolt, KF) позволяют смонтировать кварцевые микровесы QCM в системах сверхвысокого вакуума.
✔ Комплектация
- Корпус датчика: охлаждаемый, с трубками подачи охлаждающей жидкости, расстояние от датчика до фланца регулируемое;
- Кварцевый резонатор (кристалл) – 10 шт.;
- Коаксиальный кабель корпус датчика –вакуумный ввод: изготовлен из материалов, подходящих для использования в вакууме;
- Вакуумный ввод: комбинированный, обеспечивает ввод электрического сигнала и подачу охлаждающей жидкости;
- Гибкий полимерный шланг – 2шт.;
✔ Опции
- Заслонка пневматическая или ручная: отсекает поверхность кристалла от потока напыляемого вещества, обеспечивает увеличение ресурса кварцевых весов;
- Кронштейн датчика толщины с экраном: исключает смещение датчика при смене кристалла или чистке камеры, с регулировкой его высоты и наклона. Экран предотвращает запыление кристалла от соседних испарителей.
- Линейный транслятор: Изготовлен на базе ШВП. Уплотнение сварной сильфон. Обеспечивает ход каретки на 200 (300) мм за счет вращения рукояти. Имеет шкалу в мм с указателем. На противоположной стороне присутствует фиксатор, позволяющий зафиксировать требуемое положение винтом при необходимости.
- Контроллер - со встроенным дисплеем с возможностью автоматического или ручного управления (EPOS-QCM-2) или для компьютерной регистрации параметров осаждения (EPOS-QCM-1)
- Внешний осциллятор: внешний осциллятор обеспечивает колебания 5-6 МГц. Применяется в случае, если необходимо разместить контроллер измерения толщины на расстояние от контроллера до вакуумного датчика с кристаллом более 800 мм. На расстоянии 150мм от вакуумного ввода необходимо разместить внешний осциллятор, и соединить его с контроллером длинным кабелем.
- Датчик температуры кварцевого генератора: термопара для контроля температуры корпуса датчика/кристалла и корректировки калибровочного коэффициента.