Лабораторная установка магнетронного напыления - EPOS-PVD-DESK-BASIC

Назначение

Данная лабораторная вакуумная установка магнетронного напыления предназначена для освоения технологий нанесения покрытий, включая многослойные, а также для проведения научных исследований в таких областях, как материаловедение, приборостроение, электроника и другие. Функциональная, надёжная и готовая к работе «из коробки» — она сочетает удобство, безопасность и простоту в эксплуатации. Преимущество перед типовыми решениями - универсальные 3″ магнетроны (Ø 76,2 мм) вместо широко используемых 2-дюймовых. Это обеспечивает более однородные и качественные покрытия.

Описание

Компактная система магнетронного распыления, оснащенная одним или двумя магнетронами, предназначена для нанесения тонких пленок металлов, диэлектрических материалов и полупроводников на подложки с максимальным диаметром до 100 мм. Интегрированный источник питания высокой мощности обеспечивает стабильные условия разряда, что способствует формированию плотных воспроизводимых покрытий с высоким качеством. Конструкция системы предусматривает косвенный теплоотвод от мишени. В данной конфигурации уплотнения вода-вакуум не используются, что повышает надежность системы и упрощает ее обслуживание.

Преимущество

• Распыление сверху вниз — повышенная однородность покрытия;

• Полностью безмасляная вакуумная система — исключает углеводородные загрязнения и гарантирует чистоту плёнок;
• До двух универсальных DC/RF-магнетронов (Ø 76,2 мм) с мощностью до 1,5 кВт — позволяют напылять металлы, диэлектрики и полупроводники в одном цикле;
• Реактивное напыление «из коробки» — реализуется в базовой комплектации благодаря встроенному электронному РРГ, ручному натекателю и газовому кольцу на каждом магнетроне для точной подачи Ar, O₂, N₂ и их смесей;
• Вращающийся подложкодержатель с нагревом до 350 °C — обеспечивает равномерный нагрев и контроль структуры тонких плёнок;
• Регулируемое расстояние до подложки — даёт гибкость в настройке плотности и морфологии покрытия;

• Ручное управление с блокировками безопасности — защита оборудования при эксплуатации

• Российское производство – доступность комплектующих

• Дополнительные опции - обеспечивают гибкость конфигурации системы для соответствия специфическим требованиям пользователя.

Особенности

• Блокировочная система безопасности не допускает запуск или поддержание работы при недостаточном вакууме или отсутствии циркуляции охлаждающей жидкости. Данная система безопасности является ключевым элементом для защиты оборудования от поломок;

• Полностью безмасляная откачка, обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;

• Прозрачное смотровое окно 100мм в передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс напыления;

• Размер нераспыляемой центральной области магнетрона сведен к минимуму.

• Удобство в эксплуатации сочетается с превосходным качеством получаемых покрытий.